平麵度儀誤差測量方法的介紹
日期：2025-07-05 19:52
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摘要：
平麵度儀采用掠入射光乾涉原理，專注於高精密加工表麵平麵度快速測量評估, 廣泛應用於航空航天，汽車工業噴油嘴行業，泵、閥門密封件表麵，以及光學工程，激光工程等領域。
平麵度誤差測量的常用方法有如下幾種：
1、平晶乾涉法：
用光學平晶的工作麵體現理想平麵，直接以乾涉條紋的彎曲程度確定被測表麵的平麵度誤差值。主要用於測量小平麵，如量規的工作麵和千分尺測頭測量麵的平麵度誤差。
平麵是由直線組成的，因此直線度測量中直尺法、光學準直法、光學自準直法、重力法等也適用於測量平麵度誤差。測量平麵度時，先測出若乾截麵的直線度，再把各測點的量值按平麵度公差帶定義(見形位公差)利用圖解法或計算法進行數據處理即可得出平麵度誤差。也有利用光波乾涉法和平板塗色法測量平麵誤差的。
2、打表測量法：
打表測量法是將被測零件和測微計放在標準平板上，以標準平板作為測量基準麵，用測微計沿實際表麵逐點或沿幾條直線方向進行測量。打表測量法按評定基準麵分為三點法和對角線法：三點法是用被測實際表麵上相距遠的三點所決定的理想平麵作為評定基準麵，實測時先將被測實際表麵上相距遠的三點調整到與標準平板等高；對角線法實測時先將實際表麵上的四個角點按對角線調整到兩兩等高。然後用測微計進行測量，測微計在整個實際表麵上測得的大變動量即為該實際表麵的平麵度誤差。
3、液平麵法：
液平麵法是用液平麵作為測量基準麵，液平麵由 “連通罐”內的液麵構成，然後用傳感器進行測量。此法主要用於測量大平麵的平麵度誤差。
4、光束平麵法：
光束平麵法是采用準值望遠鏡和瞄準靶鏡進行測量，選擇實際表麵上相距遠的三個點形成的光束平麵作為平麵度誤差的測量基準麵。
5、激光平麵度測量儀：
激光平麵度測量儀用於測量大型平麵的平麵度誤差平麵度測量平麵度測量現場。
6、利用數據采集儀連接百分表測量平麵度誤差的方法
測量儀器：偏擺儀、百分表、數據采集儀。
